_広島大学 ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室 – 装置リスト

 

電子ビーム露光装置
製造会社 / 型番 日立 / HL-700
仕様 可変成形型で加速電圧50kV
最小線幅50nmのEB露光装置
マスクレス露光装置
製造会社 / 型番 ナノシステムソリュ－ションズ / DL-1000
仕様 DMDを用いたレーザー露光装置．最小画素1μmのパターン
ラザフォード後方散乱（RBS）測定装置
製造会社 / 型番 日新ハイボルテージ / –
仕様 加速電圧：最大2.45MV
分析機能：RBS
加速イオン：H+, D2+, 3He+, 4He+, 14N+ 他
ビーム電流：3μA-50μA

Siデバイス試作装置一式

酸化炉
製造会社 / 型番 東京エレクトロン / –
仕様
LPCVD装置（poly-Si用）
製造会社 / 型番 東京エレクトロン / –
仕様
LPCVD装置（SiN用）
製造会社 / 型番 東京エレクトロン / –
仕様
LPCVD装置（SiO2用）
製造会社 / 型番 東京エレクトロン / –
仕様
常圧CVD装置（SiO2用）
製造会社 / 型番 天谷製作所 / –
仕様
プラズマCVD装置
製造会社 / 型番 ULVAC / –
仕様
Alスパッタ装置
製造会社 / 型番 エイコ－ / –
仕様
エッチャー（RIEコンタクト用）
製造会社 / 型番 神戸製鋼 / –
仕様
エッチャー（RIE Al用）
製造会社 / 型番 神戸製鋼 / –
仕様
深堀エッチャー
製造会社 / 型番 （株）住友精密工業 / –
仕様
リン拡散炉
製造会社 / 型番 神港精機 / –
仕様
イオン注入装置
製造会社 / 型番 アルバック / –
仕様
走査電子顕微鏡
製造会社 / 型番 日立 / –
仕様
設計・T-CAD用ワークステーション
製造会社 / 型番 Cadence,Synopsys他 / –
仕様