_筑波大学 微細加工プラットフォーム – 装置リスト
デバイスシミュレータ
| 製造会社 / 型番 |
SILVACO社製 / TCAD |
| 仕様 |
DeckBuild, TonyPlot, TonyPlot3D, DevEdit, DevEdit3D, ATLAS,Framework, DEVICE 3D, 3D Quantum, BLAZE, MC Device,Quantum, NOISE |
スパッタリング装置
| 製造会社 / 型番 |
芝浦メカトロニクス社製 / CFS-4EP-LL |
| 仕様 |
基板テーブル：Φ 220 mm
ターゲット：Φ 3インチGUN x 4基（強磁性体材料用GUN1基含む）
使用ガス：Ar, O2, N2ガス |
レーザー描画装置
| 製造会社 / 型番 |
Heidelberg Instruments社製 / DWL66 |
| 仕様 |
ステージ：8インチ
光源：442 nm HeCdレーザー |
FIB-SEM
| 製造会社 / 型番 |
FEI社製 / Helios600i |
| 仕様 |
加速電圧：50-30kV（電子ビーム）、500-30kV（イオンビーム）
デポジション用ガス：Wガス
TEM試料作成 |
ワイヤーボンダー
| 製造会社 / 型番 |
West Bond社製 / 7476D |
| 仕様 |
ワイヤ種：アルミ線・金線 |
電子線蒸着装置
| 製造会社 / 型番 |
エイコー社製 / EB-350T |
| 仕様 |
到達圧力：1 x 10-7 Pa以下
試料サイズ：MAXΦ 5″ |
電子線描画装置
| 製造会社 / 型番 |
エリオニクス社製 / ELS-7500EX |
| 仕様 |
加速電圧：5-50 kV
最小線幅：10 nm
試料サイズ：MAX 4″ |
走査型プローブ顕微鏡群
原子間力顕微鏡
| 製造会社 / 型番 |
ブルカー・エイエックスエス社製 / Dimension Icon |
| 仕様 |
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原子間力顕微鏡
| 製造会社 / 型番 |
ブルカー・エイエックスエス社製 / Multimode8 |
| 仕様 |
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