_香川大学 社会連携・知的財産センター ナノテクノロジー支援室 – 装置リスト
電子線描画装置群
電子線描画装置
| 製造会社 / 型番 |
エリオニクス社製 / ELS-7500EX |
| 仕様 |
加速電圧：50kV，30kV，20kV
描画可能な最小線幅10nm
フィールドつなぎ精度50nm 以下 |
スピンコータ－
| 製造会社 / 型番 |
ミカサ社製 / 1H-DX2 |
| 仕様 |
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マスク描画装置群
マスク描画装置
| 製造会社 / 型番 |
ハイデルベルグ社製 / DWL-66-K1 |
| 仕様 |
光源：He-Cdレーザー
描画精度：1umL/S程度 |
スピンコータ－
| 製造会社 / 型番 |
ミカサ社製 / 1H-DX2 |
| 仕様 |
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マスクアライナ群
マスクアライナ
| 製造会社 / 型番 |
ミカサ社製 / MA-10 |
| 仕様 |
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スピンコータ－
| 製造会社 / 型番 |
ミカサ社製 / 1H-DX2 |
| 仕様 |
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スプレーコータ－群
基板移動型スプレーコータ
| 製造会社 / 型番 |
VICインターナショナル社製 / VBB-4000 |
| 仕様 |
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ノズル移動型スプレーコータ
| 製造会社 / 型番 |
ナノテック社製 / DC110-EX |
| 仕様 |
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真空蒸着装置
| 製造会社 / 型番 |
ULVAC社製 / VPC-1100 |
| 仕様 |
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LP-CVD群
LP-CVD
| 製造会社 / 型番 |
サムコ社製 / LPD-1200 |
| 仕様 |
堆積可能膜厚は約500nm前後 |
エリプソメータ
| 製造会社 / 型番 |
溝尻光学社製 / DHA-XA/M8 |
| 仕様 |
膜厚と屈折率を測定可能 |
イオンシャワー
| 製造会社 / 型番 |
エリオニクス社製 / EIS-200ER |
| 仕様 |
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触針式表面形状測定器群
触針式表面形状測定器
| 製造会社 / 型番 |
アルバック社製 / Dektak8 |
| 仕様 |
測定分解能:最小:0.1nm
測定再現性:1nm以下 |
表面粗さ計
| 製造会社 / 型番 |
ミツトヨ社製 / サーフテストSV-600 |
| 仕様 |
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走査電子顕微鏡群
走査電子顕微鏡（LV付き）
| 製造会社 / 型番 |
JEOL社製 / JCM-5700LV |
| 仕様 |
加速電圧：20kV，3軸電動ステージ，
低真空モードによる非導電性試料や生の試料の観察 |
走査電子顕微鏡（EDS付き）
| 製造会社 / 型番 |
JEOL社製 / JSM-6060-EDS |
| 仕様 |
加速電圧：30kV，EDS元素分析 |
イオンコータ
| 製造会社 / 型番 |
JEOL社製 / JFC-1600 |
| 仕様 |
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非接触三次元形状測定器群
白色干渉式三次元形状測定器
| 製造会社 / 型番 |
ﾌﾞﾙｶｰ･ｴｲｴｯｸｽｴｽ社製 / NT91001A-in motion |
| 仕様 |
in-situ駆動観察 |
レーザー式三次元形状計測器
| 製造会社 / 型番 |
三鷹光器社製 / NH-3N |
| 仕様 |
測定分解能:0.1×0.1×0.01μm |
デジタルマイクロスコープ群
３Dデジタルマイクロスコープ
| 製造会社 / 型番 |
キーエンス社製 / VHX-1000（VH-Z100UW） |
| 仕様 |
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高倍率デジタルマイクロスコープ
| 製造会社 / 型番 |
ハイロックス社製 / KH-7700 |
| 仕様 |
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ダイシングマシン
| 製造会社 / 型番 |
DISCO社製 / DAD3220 |
| 仕様 |
ウエハ厚み:最大1mm以下 |
電子測定器群
ウェハプローバ
| 製造会社 / 型番 |
ｶｰﾙ･ｽﾞｰｽ社製 / PM5 |
| 仕様 |
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4深針型薄膜抵抗率計
| 製造会社 / 型番 |
ｴﾇﾋﾟｲｴｽ㈱ / KS-TC-40-SB-VR |
| 仕様 |
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