利用事例・加工事例

タイトル レンズ表面への微細加工
概要 球面形状へ電子線描画装置により数100nmのパターン形成を行った事例
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支援機関 北海道大学
技術分野・応用分野 フォトニクス
プロセス分類 リソグラフィ・露光・描画装置
材料
利用課題番号
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