利用事例・加工事例

タイトル マイクロ振動子
概要 真ん中の直線部が静電駆動で並進する
シリコンエッチングの垂直性を高めることで、共振周波数は設計値の10%以内に収まる。電界センサ等に応用。 電学論E 133 (2013) 354. _
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支援機関 豊田工業大学
技術分野・応用分野 N&MEMS、エネルギー関連技術
プロセス分類 リソグラフィ・露光・描画装置、膜加工・エッチング、熱処理、電気計測、機械計測
材料 シリコン（Si）
利用課題番号
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