加工事例集

タイトル 微細構造による機能制御
説明 Si基板上にピラー構造を作製し、その上の液滴の蒸発挙動などを研究
備考 Si基板へマスクアライナー、深掘エッチング装置により高アスペクト比加工(5μmφ×30μm)、ピラー構造を作製(Fig.1)。ピラーを敷き詰めたシリコン基板上の液滴の状況(接触角:130°)(Fig.2)
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支援機関 山口大学
機能またはアプリケーション メタマテリアル
加工方法 エッチング
材料 シリコン(Si)

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