文部科学省「ナノテクノロジープラットフォーム」事業
微細加工ナノプラットフォームコンソーシアム
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組織概要
利用方法
実施機関
北海道大学 創成研究機構/ナノテクノロジー連携研究推進室
東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム
物質・材料研究機構 NIMS微細加工プラットフォーム
産業技術総合研究所 AISTナノプロセシング施設
筑波大学 微細加工プラットフォーム
東京大学 超微細リソグラフィー・ナノ計測拠点/大規模集積システム設計教育研究センター
早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構/ナノテクノロジーリサーチセンター
東京工業大学 科学技術創成研究院未来産業技術研究所
名古屋大学 施設・機器共用推進室/ナノテクノロジープラットフォーム機構
豊田工業大学 研究設備共同活用センター/ナノテクノロジープラットフォーム部門
京都大学 学際融合教育研究推進センター/ナノテクノロジーハブ拠点
大阪大学 ナノテクノロジー設備供用拠点
香川大学 産学連携・知的財産センター ナノテクノロジー支援室
広島大学 ナノデバイス・バイオ融合科学研究所/微細加工支援室
山口大学 大学研究推進機構/微細加工支援室
北九州産業学術推進機構 共同研究開発センター
装置リスト
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資料・動画
シリコンのトータルソリューション
