令和２年度文部科学大臣表彰において、物質・材料研究機構 微細加工プラットフォーム NIMSエンジニアの大里啓孝さんが「創意工夫功労者賞」を受賞しました。
受賞内容『酸化ガリウムドライエッチング技術の考案』
大里さんは、高性能・低価格なパワーデバイスを実現できる可能性のある材料、酸化ガリウムの特徴である大きな絶縁破壊強度を生かすために、従来のプレーナー構造からトレンチMOS構造への転換を目的として、ドライエッチング技術の開発を行いました。この技術によって試作したトレンチMOS型ショットキーバリアダイオードの動作実証結果によって、市販のシリコンカーバイド製ダイオードより低損失・低消費電力であることが示されました。
本研究成果は、酸化ガリウムパワーデバイスの発展を促進させ、今後成長が予想されるパワーデバイス市場の活性化および電気機器の省エネ化に繋がると期待されます。
関連URL： https://www.nims.go.jp/news/archive/2020/05/202005010.html