微細加工プラットフォームに参画する技術支援者やユーザーの方々に、最先端の微細加工関連技術や、その技術を用いて開発したデバイス・材料に関する論文をご投稿いただき、以下の雑誌の特集号として出版いたしました。
Sensors and Materials, Vol. 31 No. 8(2)
Special Issue on Advanced Nanofabrication Processes for Emerging Devices and Materials
https://myukk.org/SM2017/index.php?vol=31&no=8&sub_no=2
計8報の論文はオープンアクセスとなっており、Webから自由にダウンロードできます。
また、Creative Commonsライセンスを取得してあるので、ホームページにおける各論文の見出しページのCite this articleと書かれてあるところの記載をすれば、図面を自由に引用して用いることが可能です。(https://creativecommons.jp/licenses/)
さらに、S&M1956の論文には、試作された力センサーの動画もリンクされています。
是非、一度アクセスして頂き、微細加工プラットフォームをご利用される際のご参考資料としてご活用ください。
Hiroyuki Akinaga, Nanofabrication Technologies for All, Sens. Mater., Vol. 31, No. 8, 2019, p. 2477-2480.
https://doi.org/10.18494/SAM.2019.2521