第2回ヘリウムイオン顕微鏡セミナー(2018/7/6)

ヘリウムイオン顕微鏡はヘリウムイオンビームを走査することによって試料より発生する2次電子から画像を得る。イオン源の特性から最小ビーム径が0.5nmと小さく、SEMと比べて被写界深度が深いのが特徴であり、電子中和銃を用いることで絶縁体を導電体コート無しで高分解能で観察できる。またヘリウムイオンを用いた試料のエッチングが可能であり、従来のガリウムイオンFIBと比べると10nm以下の微細加工が可能である。大阪大学ナノテクノロジー設備供用拠点微細加工プラットフォームでは平成25年度よりヘリウムイオン顕微鏡を導入し、文部科学省ナノテクノロジープラットフォーム事業において共用装置として運用している。
本セミナーではヘリウムイオン顕微鏡の原理から応用例について紹介する。

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概要

開催日時 2018年 7月 6日(金) 13:30 ~ 16:30
場所 大阪大学中之島センター講義室304
主催 大阪大学ナノテクノロジー設備供用拠点微細加工プラットフォーム
参加費 無料
参加申し込み norizawa(at)sanken.osaka-u.ac.jp
※(at)をアットマークに変更してからご使用ください
(7月4日までに法澤まで、当日参加可能)
プログラム 13:00 受付開始

13:30 開会挨拶

13:35 サブナノメートル分解能を実現するヘリウムイオン顕微鏡の基本原理
    田中かをり カールツァイス株式会社

13:55 ヘリウムイオン顕微鏡による観察・加工・分析の最新応用
    Vignesh Viswanathan  Carl Zeiss Microscopy GmbH

14:15 ヘリウムイオン顕微鏡技術が拓くナノエレクトロニクス、バイオの世界
    小川真一 産業技術総合研究所ナノエレクトロ二クス研究部門

14:45 多重極子遷移を誘起する金属ナノギャップ構造
    酒井恭輔 北海道大学電子科学研究所

15:15 休憩

15:30 ヘリウムイオン顕微鏡による高Q値ナノファイバブラッグ共振器の開発
    高島秀聡 京都大学大学院工学研究科

16:00 ヘリウムイオン顕微鏡によるナノ加工と観察
    法澤公寛 大阪大学ナノテクノロジー設備供用拠点

16:30 閉会

17:00 懇親会(2階カフェ「スコラ」にて、参加費無料)
お問合せ先 大阪大学ナノテクノロジー設備供用拠点微細加工PF 法澤
電話:06-6879-4654
Mail:norizawa(at)sanken.osaka-u.ac.jp
※(at)をアットマークに変更してからご使用ください