_東北大学 ナノテク融合技術支援センター 微細加工プラットフォーム – 装置リスト

PECVD群
製造会社 / 型番 住友精密 / MPX-CVD
仕様 SiN、SiO2
最高温度:350℃
低応力成膜
製造会社 / 型番 日本生産技術研究所 / VDS-5600
仕様 SiN、SiO2
スパッタ装置
製造会社 / 型番 芝浦メカトロニクス / CFS-4ESII
仕様 3インチターゲット×3
パターンジェネレータ
製造会社 / 型番 日本精工 / TZ-310
仕様 エマルジョンマスク
Crマスク作製
最小描画パターン:1μm
両面アライナ露光装置一式(両面アライナ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
製造会社 / 型番 Suss / MA6/BA6
仕様 コンタクト露光
片面・両面アライメント
接合時のアライメント
ステッパ装置一式(ステッパ、スピンコータ、オーブン、現像機、乾燥機)
製造会社 / 型番 キヤノン / FPA1550M4W
仕様 g線ステッパ
最小描画パターン:約0.6μm
カセットtoカセット(4インチ)
DeepRIE装置
製造会社 / 型番 住友精密 / MUC-21
仕様 Si深堀エッチング
RIE装置群
製造会社 / 型番 アネルバ / DEA-506
仕様 SiN、SiO2のドライエッチング
最大6インチ
製造会社 / 型番 アネルバ / L-507DL
仕様 Siのドライエッチング
最大6インチ
製造会社 / 型番 芝浦エレテック / HIRRIE-100
仕様 Al、Siのドライエッチング
最大6インチ
製造会社 / 型番 アルバック / RIH-1515Z
仕様 ⾦属膜や圧電膜も対象とした多⽬的のドライエッチング
最大6インチ
アッシング装置
製造会社 / 型番 ブランソン / IPC4000
仕様 13.56MHz
サンドブラスト
製造会社 / 型番 新東 / –
仕様 ガラスの穴あけ加工
酸化拡散炉
製造会社 / 型番 東京エレクトロン / XL-7
仕様 ウェット/ドライ酸化
P拡散、B拡散
イオン注入装置一式(イオン注入装置、ランプアニール炉)
製造会社 / 型番 日新イオン機器 / NH-20SR
仕様 最大加速電圧:180keV
常時注入可能元素:P、B
カセットtoカセット
拡がり抵抗測定装置
製造会社 / 型番 Solid State Measurements / SSM150
仕様 不純物濃度プロファイルの測定
電子顕微鏡群
製造会社 / 型番 日立 / S3700N
仕様 熱電子SEM
EDX付
低真空モード付
光学画像ナビ付
製造会社 / 型番 日立 / S5000
仕様 インレンズ式FESEM
小片/断面観察用
膜厚計
製造会社 / 型番 ナノメトリクス / NanoSpec3000
仕様 光学式
段差計
製造会社 / 型番 Tenchor / AlphaStep 500
仕様  
デジタル顕微鏡
製造会社 / 型番 キーエンス、クノーテクノクラフト / –
仕様 デジタル画像保存
電動ステージ(PC制御可)
20~200倍
500~5000倍
ウェハ接合装置
製造会社 / 型番 Suss / SB6e
仕様 陽極接合
金属接合
ポリマー接合
EB描画装置
製造会社 / 型番 Reith / 50
仕様 最大30keV
最大3インチ
最小描画パターン:30nm
製造会社 / 型番 エリオニクス / ELS-G125S
仕様 最大130keV
最大6インチ
最小描画パターン:10nm以下
LPCVD群
製造会社 / 型番 システムサービス
仕様 SiN、SiON、SiO2、Poly-Si
最大6インチ
製造会社 / 型番 国際電気
仕様 エピ炉、Poly-Si
エッチングチャンバー一式
製造会社 / 型番  
仕様 酸洗浄、ウェットエッチング
 Si結晶異方性(アルカリ)エッチング装置一式(KOH、TMAH)
製造会社 / 型番  
仕様 最大6インチウェハ×10枚対応