加工事例集

タイトル 8角形格子
説明 マスクレス露光装置でパターン形成したピッチ4μmの格子
備考 シリコンのプラズマエッチング後、酸化して酸化膜エッチングすることで表面を平滑化している。
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支援機関 豊田工業大学
機能またはアプリケーション
加工方法 RIE
材料 クロム(Cr)、金(Au)、シリコン(Si)

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