加工事例集

タイトル 同軸構造導電性AFMプローブ
説明
備考 導電性AFMを用いたナノスケールでの高感度電圧電流計測において問題となる寄生容量とノイズの低減を目的とした同軸構造のシールド付き導電性AFMプローブ。
コメント
支援機関 筑波大学
機能またはアプリケーション
加工方法 エッチング、集束イオンビーム加工、スパッタ、CVD
材料 チタン(Ti)、イリジウム(Ir)、SiO2、白金(Pt)、金(Au)、シリコン(Si)

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