加工事例集

タイトル カーボンナノチューブの林
説明 カーボン用プラズマ成膜装置でAFM探針に成長
備考 AFM探針の先鋭化
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支援機関 豊田工業大学
機能またはアプリケーション ナノ計測
加工方法 CVD
材料 シリコン(Si)、カーボンナノチューブ

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