加工事例集

タイトル 空間光変調器用ドライバ回路
説明 IC作製技術を駆使してNMOSデバイスを作製
備考 夏季実習でも簡易プロセスを習得可能
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支援機関 広島大学
機能またはアプリケーション
加工方法 エッチング、イオン注入、電子ビーム露光
材料 シリコン(Si)、アルミニウム(Al)

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