加工事例集

タイトル 流路の作製
説明 マスクレス露光装置を用いた流路チップの迅速試作
備考 シリコン基板にドライフィルムXP SU-8 3000を貼った
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支援機関 広島大学
機能またはアプリケーション MEMS、流路
加工方法 マスクレス光露光
材料 Su-8、PDMS

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