利用事例・加工事例

タイトル 流路の作製
概要 マスクレス露光装置を用いた流路チップの迅速試作
シリコン基板にドライフィルムXP SU-8 3000を貼った
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支援機関 広島大学
技術分野・応用分野 N&MEMS
プロセス分類
材料 PDMS、Su-8
利用課題番号
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