利用事例・加工事例

タイトル 単電子トランジスタ
概要 微細Siなのドットの直列構造部分
動作も確認できた
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支援機関 広島大学
技術分野・応用分野
プロセス分類
材料 シリコン(Si)
利用課題番号
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