加工事例集

タイトル 単電子トランジスタ
説明 微細Siなのドットの直列構造部分
備考 動作も確認できた
コメント
支援機関 広島大学
機能またはアプリケーション
加工方法 エッチング、電子ビーム露光
材料 シリコン(Si)

→ 一覧へ戻る