加工事例集

タイトル レンズ表面への微細加工
説明 球面形状へ電子線描画装置により数100nmのパターン形成を行った事例
備考
コメント
支援機関 北海道大学
機能またはアプリケーション
加工方法 電子ビーム露光
材料

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