加工事例集

タイトル トレンチ構造への酸化物多層膜形成
説明 ナノメートルオーダーの膜厚で制御された様々な酸化物薄膜を凹凸構造上に均一に形成。
備考 自動シーケンスで容易に多層膜作製が可能。
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支援機関 北海道大学
機能またはアプリケーション
加工方法 原子層堆積装置
材料 Nb2O5、HfO2、NiO、Al2O3、SiO2、TiO2

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