加工事例集

タイトル ダイヤモンドナノ突起
説明 TiN/Alマスクにより形成
備考 2インチ多結晶ダイヤモンド上にTiN/Alの積層マスクおよびa-Siマスクをパターニング ※一部、本事業外での加工が含まれています。
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支援機関 広島大学
機能またはアプリケーション
加工方法 RIE、エッチング、電子ビーム露光、スパッタ、CVD
材料 TiN、a-Si、アルミニウム(Al)

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