利用事例・加工事例

タイトル EBリソグラフィによる高感度バイオセンシング用ポリマー導波路構造の作製
概要
ポリマー導波路から成る方向性結合型光干渉計と微小流体システムとを統合した、微小・高感度なバイオセンシングデバイスを開発した。写真は、光干渉計部分の断面SEM像及び測定の様子。
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支援機関 筑波大学
技術分野・応用分野
プロセス分類
材料 Su-8
利用課題番号
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