加工事例集

タイトル EBリソグラフィによる高感度バイオセンシング用ポリマー導波路構造の作製
説明
備考 ポリマー導波路から成る方向性結合型光干渉計と微小流体システムとを統合した、微小・高感度なバイオセンシングデバイスを開発した。写真は、光干渉計部分の断面SEM像及び測定の様子。
コメント
支援機関 筑波大学
機能またはアプリケーション センサ、バイオ
加工方法 電子ビーム露光
材料 Su-8

→ 一覧へ戻る